solid AA^® in der Elektroanalytik

In der Halbleiterindustrie werden hochreine Materialien verwendet, die gezielt mit bestimmten Elementen dotiert werden, um die Materialeigenschaften zu modifizieren. Schon kleinste Verunreinigungen reichen aus, um das Material unbrauchbar zu machen. Deshalb gehört die Detektion geringster Elementspuren zur täglichen Routine in der Halbleiterproduktion – eine Aufgabe die höchste Nachweisempfindlichkeit und Präzision erfordert.

Mit solid AA^® kann eine relativ große Probenmenge unverdünnt analysiert werden. Daher ist die Feststoff-AAS für viele Elemente hier das nachweisstärkste routinefähige Analyseverfahren. Sie ist dabei deutlich einfacher in der Handhabung und weist weniger Interferenzen und Fehlerquellen auf, als alternative Verfahren mit vergleichbarer Empfindlichkeit.

Signalverlauf Cr, 17,7 mg/kg

Signalverlauf Cd, 21,7 mg/kg